• Покупка статей
  • Telegram_OreMet
Скрыть↑
Журналы →  Цветные металлы →  2009 →  №2 →  Назад

Магний, титан, редкие металлы, полупроводники
Название Об уменьшении влияния тепловой конвекции на качество монокристаллов кремния, выращиваемых методом Чохральского
Автор Егоров С. Г., Воляр Р. Н., Червоный И. Ф., Кириченко А. Г.
Информация об авторе С. Г. Егоров, доцент, e-mail: egrv@rambler.ru; Р. Н. Воляр, ассистент; И. Ф. Червоный, зав. каф. металлургии цветных металлов; А. Г. Кириченко, ассистент каф. металлургии черных металлов, Запорожская государственная инженерная академия.
Реферат

Изучена принципиальная возможность уменьшения высоты расплава в тигле при выращивании монокристаллов кремния методом Чохральского. При уменьшении высоты расплава в тигле наблюдается качественное и количественное изменение скорости движения потоков. Обеспечивается стационарный режим развития тепловой конвекции.
Ключевые слова Метод Чохральского, расплав, тепловая конвекция, стационарный режим, скорость движения потоков.
Библиографический список

1. Мильвидский М. Г. // Изв. вузов. Материалы электронной техники. 2000. № 1. С. 14–18.
2. Степченков В. Н., Голубенков Б. Ю. // Электронная техника. Сер. Материалы. 1982. Вып. 6. С. 44–47.
3. Степченков В. Н., Голубенков Б. Ю., Добрынин А. В. // Там же. Вып. 7. С. 25–28.
4. Мюллер Г. Выращивание кристаллов из расплава. Конвекция и неоднородности: пер. с англ. — М. : Мир, 1991. — 143 с.
Language of full-text русский
Полный текст статьи Получить
Назад