Журналы →  Цветные металлы →  2012 →  №6 →  Назад

Магний, титан, редкие металлы, полупроводники
Название Кристаллизация солей при утилизации газообразных отходов раствором соды в производстве трихлорсилана и поликристаллического кремния
Автор Апанасенко В. В.
Информация об авторе

ОАО «Гиредмет»

В. В. Апанасенко, вед. науч. сотр., e-mail: asla_new@rambler.ru

Реферат

Рассмотрен процесс очистки отходящих газов, содержащих хлористый водород, трихлорсилан, тетрахлорид кремния и дихлорсилан, 10 и 17 % (мас.) растворами карбоната натрия в интервале температур 0–60 °C. Расчетом установлено, что в ходе процесса возможна кристаллизация образующегося гидрокарбоната натрия. Количество выпадающего в осадок NaHCO3 возрастает с увеличением концентрации Na2CO3 в исходном растворе, уменьшается с ростом температуры, а также экстремально зависит от степени использования соды в процессе газоочистки. Максимальная массовая доля твердой соли в образующейся суспензии достигается, когда сода использована наполовину, т. е. если карбонат натрия полностью превращается в гидрокарбонат, и составляет 10,9 % (условия ведения процесса: 17%-ный раствор соды, t = 0 °C, из опасных веществ в отходящих газах присутствует только HCl). При t = 60 °C максимум солевой кристаллизации снижается до 5,4 % (остальные условия те же). Рассчитаны плотность и вязкость получаемых растворов, а там, где в осадок выпадает твердая соль, — и суспензий. Показано, что с ростом степени использования соды плотность и вязкость стоков падают, что способствует улучшению массообмена в процессе обезвреживания. Наряду с твердым гидрокарбонатом натрия в процессе очистки отходящих газов, содержащих хлорсиланы, образуется осадок кремниевой кислоты, количество которого растет с повышением степени использования соды и, таким образом, увеличивает общую массу осадка. Показано также, что при температуре ниже 20 °C в осадок может выпадать и Na2CO2 · 10H2O, рассчитано количество осадка декагидрата карбоната натрия в зависимости от температуры, концентрации соды и степени ее использования. Образование твердых солевых фаз может существенно усложнять процесс утилизации отходящих газов в производственных условиях, это необходимо учитывать при выборе оборудования системы газоочистки.

Ключевые слова Газообразные отходы, обезвреживание, утилизация, газоочистка, трихлорсилан, хлорсиланы, хлористый водород, сода, гидрокарбонат натрия, кристаллизация
Библиографический список

1. Наумов А. В. Рынок солнечной энергетики: кризис и прогнозы // Материалы электронной техники. Изв. вузов. 2009. № 2. С. 4–12.
2. Кожемякин В. А., Почтарев А. Н. Утилизация отходов в производстве трихлорсилана и поликристаллического кремния // Цветные металлы. 2008. № 10. С. 65–68.
3. Стрельников А. С. Технология очистки промстоков в производстве полупроводникового кремния // Экология и промышленность России. 1999. № 1. С. 8–12.
4. Кожемякин В. А., Зубченко Г. В., Митник В. Л., Вакс Г. Л. Малоотходные процессы и охрана окружающей среды в металлургии редких металлов. — М. : Металлургия, 1991. — 160 с.

5. Дорохова Е. Н., Прохорова Г. В. Задачи и вопросы по аналитической химии. — М. : Мир, 2001. — 267 с.
6. Айлер Р. Химия кремнезема. В 2 частях. — М. : Мир, 1982. — 1128 с.
7. Апанасенко В. В., Вольдман Г. М. Расчет материальных балансов технологических процессов с использованием электронных таблиц Excel // Цветные металлы. 2010. № 9. С. 59–66.
8. Здановский А. Б., Соловьева Е. Ф., Ляховская Е. И. и др. Экспериментальные данные по растворимости многокомпонентных водно-солевых систем : справочник. — СПб. : Химиздат, 2003. Т. 1, кн. 1. — 608 с.
9. Здановский А. Б., Соловьева Е. Ф., Ляховская Е. И. и др. Экспериментальные данные по растворимости многокомпонентных водно-солевых систем : справочник. — СПб. : Химиздат, 2003. Т. 2, кн. 1. — 640 с.
10. Соколовский А. А., Яхонтова Е. Л. Применение равновесных диаграмм растворимости в технологии минеральных солей. — М. : Химия, 1982. — 264 с.
11. Зайцев И. Д., Асеев Г. Г. Физико-химические свойства бинарных и многокомпонентных растворов неорганических веществ. — М. : Химия. 1988. — 416 с.
12. Справочник химика / под ред. Б. П. Никольского и др. — Л. : Химия, 1968. Т. 5. — 976 с.

Language of full-text русский
Полный текст статьи Получить
Назад