Основы технологии электронной компонентной базы
Бодров Е. Э.
Учебное пособие содержит лекции, касающиеся технологии производства интегральных микросхем. Лекции охватывают основные технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники, такие как производство полупроводниковых пластин, их легирование, нанесение юнких пленок, фотолитография, травление, металлизация, контроль процесса производства и др.
Предназначено для студентов-бакалавров направления подготовки 210100.62 «Электроника и микроэлектроника» (профиль подготовки «Промышленная электроника»).
ISBN: 978-5-9967-0873-4
Pages: 179
Binder: мягкий
Publisher: Издательство ФГБОУ ВО МГТУ им. Г. И. Носова
Language: English
Publishing year: 2016
If you want order this book, you shold send your request to the books@rudmet.com.
