НАНОМАТЕРИАЛЫ И НАНОТЕХНОЛОГИИ | |
Название | Планарные волноводы градиентного типа на основе наноразмерных слоев кварцевого стекла, полученные в микроволновой плазме пониженного давления |
Автор | И. П. Шилов, Л. Ю. Кочмарев, Н. Т. Ключник, М. Я. Яковлев |
Информация об авторе | Институт радиотехники и электроники им. В. А. Котельникова РАН, Фрязинское отделение: И. П. Шилов Л. Ю. Кочмарев
ЗАО ЦНИТИ «Техномаш−ВОС»: Н. Т. Ключник М. Я. Яковлев |
Реферат | Представлены результаты разработки и исследования технологии получения планарных градиентных волноводов на основе нанослоев фторированного кварцевого стекла в плазме СВЧ−разряда пониженного давления. Исследованы оптические характеристики планарных градиентных волноводов, рассмотрены вопросы их применения в многоканальных оптических разветвителях. |
Ключевые слова | Планарные градиентные волноводы, кварцевое стекло, микроволновой СВЧ−разряд, планарные оптические волноводы, волоконно−оптические световоды |
Библиографический список | 1. Засовин, Э. А. Многополюсные волоконно−оптические разветвители для локальных систем передачи информации / Э. А. Засовин, Н. Т. Ключник, М. Я. Яковлев // Радиотехника. − 2004. − № 12. − С. 44—49. |
Language of full-text | русский |
Полный текст статьи | Получить |