Математическая модель процесса получения покрытия при химическом осаждении из газовой фазы в условиях термоциклирования подложки (часть 1)

Скрыть↑

КОМПОЗИЦИОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ И МНОГОФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ ПОКРЫТИЯ
Название	Математическая модель процесса получения покрытия при химическом осаждении из газовой фазы в условиях термоциклирования подложки (часть 1)
Автор	Прокопук В. И., Ермилов А. Г.
Информация об авторе	Прокопук В. И., Ермилов А. Г., МИСиС
Библиографический список	1. Ермилов А. Г., Сафонов В. В., Башуров Ю. П., Кулифеев А. Г. // Цветные металлы. 2002. № 6. С. 51–66. 2. Ермилов А. Г., Сафонов В. В., Нестеров Н. В. // Изв. вузов. Цветная металлургия. 2001. № 6. С. 72–76. 3. Матур К. Б., Эпстайн Н. Фонтанирующий слой. — Л. : Химия, 1978. — 278 с.
Language of full-text	русский
Полный текст статьи	Получить