Математическая модель процесса получения покрытия при химическом осаждении из газовой фазы в условиях термоциклирования подложки (часть 1)

Hide↑

КОМПОЗИЦИОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ И МНОГОФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ ПОКРЫТИЯ
ArticleName	Математическая модель процесса получения покрытия при химическом осаждении из газовой фазы в условиях термоциклирования подложки (часть 1)
ArticleAuthor	Прокопук В. И., Ермилов А. Г.
ArticleAuthorData	Прокопук В. И., Ермилов А. Г., МИСиС
References	1. Ермилов А. Г., Сафонов В. В., Башуров Ю. П., Кулифеев А. Г. // Цветные металлы. 2002. № 6. С. 51–66. 2. Ермилов А. Г., Сафонов В. В., Нестеров Н. В. // Изв. вузов. Цветная металлургия. 2001. № 6. С. 72–76. 3. Матур К. Б., Эпстайн Н. Фонтанирующий слой. — Л. : Химия, 1978. — 278 с.
Language of full-text	russian
Full content	Buy