Institute of monitoring climatic and ecological system:

M. M. Philippov

A. I. Gribenyukov

V. E. Ginsar
Yu. V. Babushkin

A system for control of crystal growth process in the multizone thermal installation with an integrated mathematical model is developed. Experimental information on both temperature distribution and powers of the heating elements as well as calculation data about the form of crystallization front have been used as input information for the control system. Consecutive correction of controller setpoints of multizone thermal installation during crystal growth process based on calculated data is aiming at deviation reduction between crystal growth rate and container moving rate.

1. Грибенюков, А. И. Нелинейно−оптические кристаллы ZnGeP₂: ретроспективный анализ технологических исследований / А. И. Грибенюков // Оптика атмосферы и океана. − 2002. − Т. 15, № 1. − С. 71—80.
2. Verozubova, G. A. Growth and defect structure of ZnGeP₂ crystals / G. A. Verozubova, A. O. Okunev, A. I. Gribenyukov, A. Yu. Trofimiv, E. M. Trukhanov, A. V. Kolesnikov // J. Cryst. Growth. − 2010. − V. 312, N 8. − P. 1122—1126.
3. Марков, А. В. Выращивание монокристаллов арсенида галлия с высоким структурным совершенством методом вертикально направленной кристаллизации / А. В. Марков // Изв. вузов. Материалы электрон. техники. − 2006. − № 6. − С. 16—19.
4. Глазов, В. М. Физико−химические основы легирования полупроводников / В. М. Глазов, В. С. Земсков. − М. : Наука, 1967. − 272 с.
5. Филиппов, М. М. Оценка динамики температурного поля в рабочем объеме вертикальной установки Бриджмена при продольно−осевом перемещении ростового контейнера в процессе выращивания кристаллов / М. М. Филиппов, Ю. В. Бабушкин, А. И. Грибенюков, В. Е. Гинсар // Изв. Томского политехн. ун−та. − 2009. − Т. 315, № 2. − C. 104—109.
6. Филиппов, М. М. Алгоритм оценки мощностей нагревательных элементов в многозонной установке для выращивания кристаллов по Бриджмену / М. М. Филиппов, Ю. В. Бабушкин, А. И. Грибенюков, В. Е. Гинсар // Там же. − 2009. − Т. 315, № 2. − C. 110—112.
7. Официальный сайт COMSOL Multiphysics [Электронный ресурс]. — режим доступа: http://www.comsol.com/. — 07.05.2011.