МГТУ им. Н. Э. Баумана:

Гришин Ю. М., проф., д-р техн. наук, e-mail: ygrishin@pover.bmstu.ru

Козлов Н. П., зав. отделом, д-р техн. наук, e-mail: kozlov1929@mail.ru

Скрябин А. С., доцент, канд. техн. наук, e-mail: terra107@yandex.ru

ФГУП «ЦЕНТРКВАРЦ»:

Борисов Л. А., зам. генерального директора — главный инженер, e-mail: la-quartz@mail.ru

Проведен цикл теоретических и экспериментальных исследований плазмохимического метода получения кремния из кварца и твердого монооксида кремния. Определены критерии реализации предлагаемого метода и установлено влияние основных режимных параметров процесса на его эффективность. Даны рекомендации по выбору основных режимных и конструктивных параметров плазменной установки.

Работа выполнена при частичной финансовой поддержке РФФИ (проект № 12-08-31138) и Госзаказа Минобрнауки № 7.3319.2011.

1. New processes for the production of solar-grade polycrystalline silicon: A review / A.F.B. Braga [et. al.] // Solar Energy Materials & Solar Cells. 2008. № 92. Р. 418–424.
2. Константинов В. О., Щукин В. Г., Шарафутдинов Р. Г., Карстен В. М., Гратвич Г. Г., Семенова О. И. Получение кристаллического кремния из моносилана в электронно-пучковой плазме // Прикладная физика. 2009. № 4. С. 95–101.
3. Пат. 2367600 РФ МПК С 01 В 33/023. Способ получения кремния высокой чистоты / В. Д. Афанасьев и др. // Бюл. изобретений. 2001. № 22.
4. Бибиков М. Б., Демкин С. А., Животов В. К., Зайцев С. А., Московский А. С., Смирнов Р. В., Фатеев В. Н. Исследование процесса восстановления монооксида кремния в плазме дугового разряда // ХВЭ. 2010. Т. 44. № 1. С. 60–64.
5. Борисов Л. А., Козлов Н. П., Кулагин А. Ю., Серых Н. М., Скрябин А. С. Разработка плазмохимических технологий получения особо чистого кварца и кремния // Горный журнал. 2010. № 12. С. 74–79.