Журналы →
Материалы электронной техники →
2010 →
№2 →
Назад
Назад
ФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА И МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЙ | |
Название | Структурные и электрические свойства подложек AlN, используемых для выращивания светодиодных гетероструктур |
Автор | А. Я. Поляков, Н. Б. Смирнов, А. В. Говорков, И. А. Белогорохов, К. Д. Щербачев, В. Т. Бублик, О. А. Авдеев, Т. Ю. Чемекова, Е. Н. Мохов, С. С. Нагалюк, Х. Хелава, Ю. Н. Макаров |
Информация об авторе | А. Я. Поляков, ведущий научный сотрудник, e-mail: aypolyakov@gmail.com, Н. Б. Смирнов, А. В. Говорков, старший научный сотрудник, И. А. Белогорохов, cтарший научный сотрудник, (ОАО “Гиредмет”, Москва, 119017, Б. Толмачёвский пер., д. 5); К. Д. Щербачев, старший научный сотрудник, В. Т. Бублик, доктор физ.-мат. наук, профессор, (ФГОУ ВПО “Национальный исследовательский технологический университет “МИСиС”, 119049, г. Москва, Ленинский просп., д. 4); О. А. Авдеев, Т. Ю. Чемекова, e-mail: chemekova@n-crystals.fi.ru, Е. Н. Мохов., С. С. Нагалюк, Х. Хелава,(ООО “Нитридные кристаллы”, 194156, г. С.-Петербург, просп. Энгельса, д. 27); Ю. Н. Макаров, ООО “Нитридные кристаллы”, 194156, г. С-Петербург, просп. Энгельса, д. 27; ООО “Галлий-Н”, 194156, г. С-Петербург, просп. Энгельса, д.2 7, корп. 5, e-mail:makarov@semicrys.fi.ru |
Реферат | Исследованы структурные характеристики и электрические свойства объемных кристаллов нитрида алюминия, полученных методом сублимации и используемых в качестве подложек для светодиодных гетероструктур и полевых транзисторов на основе AlGaN/GaN. Структуру кристаллов определяли с помощью методов селективного травления и рентгенодифракционных методов, электрические и оптические свойства — путем измерения температурных зависимостей проводимости, адмиттанс-спектров при высоких температурах и низких частотах, измерения спектров фотоэлектрической релаксационной спектроскопии, а также спектров микрокатодолюминесценции. Установлено, что изученные образцы имеют крупноблочную структуру с характерным размером блоков в несколько сотен микрометров и плотностью дислокаций 102— 104 см-2 внутри блоков. Электрические характеристики кристаллов определяются компенсацией остаточных доноров с уровнем ~Ес-0,3 эВ глубокими центрами, а также дефектами с энергией активации 0,7 эВ, обнаруживающими себя в температурной зависимости проводимости и в адмиттанс-спектрах. Помимо этих ловушек, обнаружены также глубокие центры, ответственные за люминесценцию с энергией пика 3,3 эВ и связанные с малоугловыми границами блоков. |
Ключевые слова | Нитрид алюминия, метод сублимации, монокристаллы, проводимость, глубокие центры. |
Библиографический список | 1. Schowalter, L. J. Fabrication of native single-crystal AlN
substrates / L. J. Schowalter, G. A. Slack, J. B. Whitlock, K. Morgan,
S. B. Schujman, B. Raghothamodachar // Phys. status solidi (c). - 2003.
- V. 0, N 7. - P. 1997. 2. Herro, Z. G. Seeded growth of AlN on N- and Al-polar (0001) seeds by physical vapor transport / Z. G. Herro, D. Zhlesser, R. Colazo, Z. Sitar // J. Cryst. Growth. - 2006. - V. 286, N 2. - P. 205. 3. Chemekova, T. Yu. Sublimation growth of 2-inch diameter bulk AlN crystals / T. Yu. Chemekova, O. V. Avdeev, I. S. Barash, E. N. Mokhov, S. S. Nagalyuk, A. D. Roenkov, A. S. Segal, Yu. N. Makarov, M. G. Ramm, G. Davis, G. Huminic, H. Helava // Phys. status solidi (c). - 2008. - V. 5, N 6. - P. 1612. 4. Берман, Л. С. Емкостная спектроскопия глубоких центров в полупроводниках- / Л. С. Берман, А. А. Лебедев - Л. : Наука, 1981. - 280 с. 5. Polyakov, A. Y. Deep traps in high resistivity AlGaN films / A. Y. Polyakov, N. B. Smirnov, A. V. Govorkov, J. M. Redwing // Solid State Electron. - 1998. - V. 42. - P. 831. 6. Polyakov, A. Y. Deep centers and their spatial distribution in undoped GaN / A. Y. Polyakov, N. B. Smirnov, A. V. Govorkov, M. Shin, M. Skowronski, D. W. Greve // J. Appl. Phys. - V. 84. P. 870. 7. Polyakov, A. Y. Properties of Si donors and persistent photoconductivity in AlGaN / A. Y. Polyakov, N. B. Smirnov, A. S. Usikov, A. V. Govorkov, B. V. Pushniy // Solid State Electron. - 1998. V. 42. - P. 1959. 8. Zeisel, R. DX-behavior of Si in AlN / R. Zeisel, M. W. Bayerl, S. T. B. Goennenwein, R. Dimitrov, O. Ambacher, M. S. Brandt, M. Stutzmann // Phys. Rev. B. - 2000. - V. 61. - P. R16283. 9. Polyakov, A. Y. Deep centers in bulk AlN and their relation to low-angle dislocation boundaries / A. Y. Polyakov, N. B. Smirnov, A. V. Govorkov, T. G. Yugova , K. D. Scherbatchev, O. A. Avdeev, T. Yu. Chemekova , E. N. Mokhov, S. S. Nagalyuk, H. Helava, Yu. N. Makarov // Phys. B. - 2009. - V. 404. - P. 4939—4941. 10. Monemar, B. Recent developments in the III-nitride materials / B. Monemar, P. P. Paskov, J. P. Bergman, A. A. Toporov, T. V. Shubina // Phys. status solidi (b). - 2007. - V. 244. - P. 1759. 11. Mooney, P. M. DX-centers in compound semiconductors / P. M. Mooney // J. Appl. Phys. - 1990. - V. 67. - P. R1. |
Language of full-text | русский |
Полный текст статьи | Получить |