Журналы →
Материалы электронной техники →
2010 →
№1 →
Назад
Назад
| МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ И ТЕХНОЛОГИЯ. ПОЛУПРОВОДНИКИ | |
| Название | Влияние параметров подачи реагентов на температуру кремниевых стержней в Сименс-процессе |
| Автор | В. А. Гаврилов, П. М. Гаврилов, П. П. Турчин |
| Информация об авторе | В. А. Гаврилов, кандидат техн. наук, советник генерального директора, e-mail: vic@mcc.krasnoyarsk.su, П. М. Гаврилов, доктор техн. наук, генеральный директор, (ФГУП «Горно-химический комбинат», Россия, 662972, Красноярский край, г. Железногорск , ул. Ленина, д. 53); П. П. Турчин, кандидат физ.-мат. наук, доцент, ФГОУ ВПО «Сибирский федеральный университет», 660041, г. Красноярск, пр-т Свободный, д. 79, тел.: 8-(391)-244-41-32. |
| Реферат | Представлены результаты исследования изменений температуры кремниевых стержней в
зависимости от особенностей
подачи в Сименс-реактор хлорсиланов (трихлорсилана SiHCl3)
и водорода. Между изменениями подачи реагентов в реактор
и температурой кремниевых
стержней установлена определенная корреляция, которая не
всегда может быть объяснена с
позиций конвективного теплообмена. Выдвинуто предположение, что наблюдаемые отклонения температуры стержней
связаны с изменением прозрачности газовой среды реактора в
ближней ИК?области и соответствующим влиянием оптических
характеристик среды реактора
на теплообмен излучением между водоохлаждаемыми стенками
реактора и кремниевыми стержнями. На спектрах пропускания смеси SiНCl3, HCl и SiO2 в ИК-области обнаружена широкая полоса поглощения в диапазоне 2400— 3100 см-1 (λ = 3,2.4,2 мкм), обусловленная наличием в составе парогазовой смеси хлористого водорода. Наличие этой полосы поглощения позволило объяснить особенности теплообмена при кратковременных изменениях подачи реагентов в установку водородного восстановления и сделать вывод о том, что теплообмен в Сименс-реакторе при кратковременных изменениях параметров подачи парогазовой смеси обусловлен в основном теплообменом излучением. |
| Ключевые слова | Кремний, Сименс-процесс, водородное восстановление, хлориды, водород, теплообмен конвективный, теплообмен излучением, спектры пропускания, инфракрасная область. |
| Библиографический список | 1. Елютин, А. В. Тепловая модель реактора для получения
поликремния водородным восстановлением SiHCI3 / А. В. Елютин,
Л. С. Иванов, Р. В. Иванов, В. В. Митин, Д. В. Назаркин, В. В. Нечаев // Изв. вузов. Материалы электрон. техники. - 2006. - № 3.
- С. 25—28. 2. Бровин, Д. С. Аспекты выбора высоты реактора для восстановления кремния по Siemens технологии / Д. С. Бровин, А. А. Ловцюс, М. Э. Рудинский // V Междунар. конф. «Кремний-2008». Тез. докл. - Черноголовка, 2008. - С. 85. 3. Фалькевич, Э. С. Технология полупроводникового крем ния / Э. С. Фалькевич, Э. О. Пульнер, И. Ф. Червонный, Л. Я. Шварцман, В. Н. Яркин, И. В. Салли - М. : Металлургия, 1992. - 408 с. 4. Molecular Absorption Spectra // http://www.coe.ou.edu/ sserg/web/Results/results.htm. |
| Language of full-text | русский |
| Полный текст статьи | Получить |
