Журналы →
Материалы электронной техники →
2010 →
№1 →
Назад
Назад
| МОДЕЛИРОВАНИЕ ПРОЦЕССОВ И МАТЕРИАЛОВ | |
| Название | Аспекты выбора размеров камеры реактора для роста поликристаллического кремния |
| Автор | Д. С. Бровин, А. А. Ловцюс, М. Э. Рудинский |
| Информация об авторе | Д. С. Бровин, инженер-физик, e-mail: brovin@softimpact.ru, А. А. Ловцюс, кандидат техн. наук, руководитель группы «Эпитаксиальный рост кремния», e-mail: lovtsus@softimpact.ru, тел.: (812) 703-15-22, М. Э. Рудинский, студент СПБГПУ, 195251, г. С.-Петербург, ул. Политехническая, д. 29, корп. 3, стажер, (ООО «Софт-Импакт», 194156, г. С-Петербург, пр-т Энгельса, д. 27, а/я 83). |
| Реферат | Рассмотрены проблемы получения поликристаллического кремния с помощью Сименс-процесса. Выбор оптимального дизайна камеры реактора, предназначенного для восстановления кремния из хлорсиланов в этом процессе, остается одной из многих нерешенных задач. Для анализа этих вопросов использованы теоретические данные по распространению турбулентной затопленной струи, а также численное моделирование. Рассмотрены режимы с преобладанием вынужденной конвекции и свободно-конвективные режимы работы реактора. |
| Ключевые слова | Поликристаллический кремний, Сименс-процесс, численное моделирование, турбулентность, теплоперенос. |
| Библиографический список | 1. Елютин, А. В. Физико-химическая модель получения поликристаллического кремния из SiHCl3. Создание материалов с заданными свойствами: методология и моделирование / А. В. Елютин, Л. С. Иванов, В. В. Нечаев - М. : МИФИ, 2004. - С. 122—123. 2. Елютин, А. В. Моделирование процесса получения поликремния в реакторе п-18. Тез. докл. IV Росс. конф. (Кремний-2007). / А. В. Елютин, Л. С. Иванов, В. В. Нечаев, В. В. Митин, Д. В. Назаркин - М. : МИСиС, 2007. - С. 35—37. 3. del Coso, G. Temperature homogeneity of polysilicon rods in a Siemens-reactor / G. del Coso, I. Tobias, C. Canizo, A. Luque // J. Cryst. Growth. - 2007. - V. 299. - P. 165—170. 4. Бровин, Д. С. Одномерный подход к моделированию Siemens-процесса / Д. С. Бровин, С. Н. Колгатин, А. А. Ловцюс // Изв. вузов. Материалы электронной техники. - 2007. - № 4. - С. 6—10. 5. Cebeci, T. Analysis of turbulent boundary layers / T. Cebeci, A. M. O. Smith - N.-Y. : Acad. Press, 1974. - 404 p. 6. Chen, H. C. Near-wall turbulence models for complex flows including separation / H. C. Chen, V. C. Patel // AIAA J. - 1988. - V. 26, Iss. 6. - P. 641—648. 7. Launder, B. E. The numerical computation of turbulent flow / B. E. Launder, D. B. Spalding // Computational Meth. in Appl. Mechanics and Eng. - 1974. - V. 3. - P. 269—289. 8. Dupret, F. Global modeling of heat transfer in crystal growth furnaces / F. Dupret, P. Nicod`eme, Y. Ryckmans, P. Wouters, M. J. Crochet // J. Heat Mass Transfer. - 1990. - V. 33. - P. 1849—1871. 9. Бровин, Д. С. Оптимизация реактора для получения поликристаллического кремния хлоридным способом / Д. С. Бровин, С. Н. Колгатин, А. А. Ловцюс // Матер. III Росс. совещ. по росту кристаллов и пленок кремния и исследованию их физ. свойств и структурного совершенства «Кремний-2006». - Красноярск, 2006. - C. 122. 10. Лойцянский, Л. Г. Механика жидкости и газа / Л. Г. Лойцянский - М. : Дрофа, 2003. - 840 с. 11. Шлихтинг, Г. Теория пограничного слоя / Г. Шлихтинг - М. : Наука, 1974. - 712 с. 12. Бровин, Д. С. Аналитический критерий устойчивого роста поликристаллов из газовой фазы / Д. С. Бровин, С. Н. Колгатин, А. А. Ловцюс // Научно-технические ведомости СПбГПУ. - 2006. - № 5-1. - С. 39—46. |
| Language of full-text | русский |
| Полный текст статьи | Получить |
