Проведено экспериментально-теоретическое обоснование новых плазмохимических технологий получения особо чистого кварца и поликристаллического кремния. В оптимальном режиме общий коэффициент снижения содержания примесей равен значению ~2–4, а индивидуальные коэффициенты по Na, Fe, Ca и K достигают величин 5–10 и более с получением особо чистого кварца. Разработана лабораторная установка для исследования эффективности плазмохимического метода получения поликристаллического кремния. Проведены предварительные эксперименты по плазмохимическому восстановлению кремния из кварца. Чистота полученного кремния составила 99,2–99,8 %.

1. Непомнящих А. И., Еремин В. П., Красин Б. А. и др. Исследования модификаций состава примесей частиц природного кварца в дисперсном плазменном потоке // Материалы электронной техники. — 2002. — № 4.
2. Салли И. В., Фалькевич Э. С. Производство полупроводникового кремния. — М. : Металлургия, 1969.
3. Гришин Ю. М., Гулин Е. Н., Козлов Н. П. и др. // Теплофизика высоких температур — 2007. — № 5.
4. www.icdd.com