МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ И ТЕХНОЛОГИЯ. ПОЛУПРОВОДНИКИ | |
Название | Структура и электронное строение поверхностных слоев пластин кремния после обработки в низкоэнергетической плазме водорода и аргона |
Автор | С. Ю. Турищев, В. А. Терехов, Е. В. Паринова, А. В. Мазаник, О. В. Королик, А. К. Федотов, И. В. Ивашкевич, Н. И. Стасько |
Информация об авторе | С. Ю. Турищев, В. А. Терехов, Е. В. Паринова, Воронежский государственный университет; А. В. Мазаник, О. В. Королик, А. К. Федотов, Белорусский государственный университет, Беларусь; И. В. Ивашкевич, Н. И. Стаськов, Могилевский государственный университет им. А. А. Кулешова, Беларусь. |
Реферат | Методами ультрамягкой рентгеновской спектроскопии, в том числе с использованием синхротронного излучения, а также спектральной эллипсометрии проведены исследования электронного строения и структуры поверхностных слоев пластин монокристаллического кремния, подвергнутых низкоэнергетической ионно−плазменной обработке в атмосфере водорода и аргона. Показано, что в результате такой обработки формируются поверхностные слои оксида кремния с толщиной больше толщины естественного оксида. При этом поверхностные (несколько нанометров) слои пластин содержат «элементарный» кремний в разупорядоченном (аморфном) состоянии. Сделано предположение о возможной кластеризации поверхностных слоев как результате обработки в плазме. Работа выполнена при поддержке ФЦП «Научные и научно−педагогические кадры инновационной России» на 2009—2013 годы и ГКПНИ «Фотоника» Республики Беларусь. |
Ключевые слова | Электронное строение, кремний, обработка в плазме, ультрамягкая рентгеновская спектроскопия. |
Библиографический список | 1. Saad, A. M. Influence of low−temperature argon ion−beam treatment on the photovoltage spectra of standard Cz−Si wafers / A. M. Saad, O. V. Zinchuk, N. A. Drozdov, A. K. Fedotov, A. V. Mazanik // Solid State Phenomena. − 2008. − V. 131–133. − P. 333—338. 2. Zinchuk, O. Effect of the hydrogen and argon ion−beam treatments on the structural and electrical properties of Cz−Si wafers: Comparative study / O. Zinchuk, N. Drozdov, A. Fedotov, A. Mazanik, N. Krekotsen, V. Ukhov, J. Partyka, P. Wegierek, T. Koltunowicz // Vacuum. − 2009. − V. 83. − P. 99—102. |
Language of full-text | русский |
Полный текст статьи | Получить |