Наноматериалы и нанотехнология | |
Название | Исследование поверхности кремний–углеродных пленок с нанометровыми включениями на основе хрома и тантала методами сканирующей зондовой микроскопии |
Автор | Е. С. Канаева, М. Д. Малинкович, Ю. Н. Пархоменко, М. Л. Шупегин |
Информация об авторе | Е. С. Канаева; М. Д. Малинкович; Ю. Н. Пархоменко; М. Л. Шупегин; ФГОУ ВПО «Национальный исследовательский технологический университет «МИСиС» |
Реферат | Методами сканирующей зондовой микроскопии исследована поверхность кремний-углеродных пленок, содержащих частицы нанофазы на основе хрома и тантала. Изображения поверхности пленок, полученные методом атомно-силовой микроскопии (АСМ), показали наличие случайных шероховатостей, в то время как образы, полученные методом сканирующей туннельной микроскопии (СТМ), представляют собой (в зависимости от типа металла и его концентрации) плотно расположенные вытянутые образования до 120 нм шириной и до 200 нм длиной. Сделано предположение, что СТМ-образы, формируемые рельефом поверхности и распределением работы выхода электронов, характеризуют распределение частиц нанофазы в структуре пленок. Установлено, что пространственно неоднородное распределение частиц в пленке коррелирует с обнаруженной ранее анизотропией электропроводности (аналогичных объектов) металлсодержащих кремний-углеродных пленок. Работа выполнена при финансовой поддержке Министерства образования и науки Российской Федерации (г.к. 16.552.11.7009). Исследования проводили на оборудовании центра коллективного пользования «Материаловедение и металлургия» НИТУ «МИСиС». |
Ключевые слова | Кремний-углеродная пленка, АСМ-изображение, СТМ-образ, частицы нанометровых размеров, анизотропия электропроводности. |
Библиографический список | 1. Малинкович, М. Д. Технология получения, структура и свойства металлсодержащих нанокомпозитов с кремний-углеродной матрицей / М. Д. Малинкович, Ю. Н. Пархоменко, Е. А. Скрылева, М. Л. Шупегин. // Изв. вузов. Материалы электрон. техники. - 2005. - № 3. - С. 12—16. |
Language of full-text | русский |
Полный текст статьи | Получить |