Журналы →  Материалы электронной техники →  2011 →  №3 →  Назад

Наноматериалы и нанотехнология
Название Исследование спектральной зависимости коэффициента поглощения нелегированных кремний–углеродных пленок
Автор М. Д. Малинкович, Ю. Н. Пархоменко, М. Л. Шупегин, А. П. Блиев, А. В. Гриценко
Информация об авторе М. Д. Малинкович, Ю. Н. Пархоменко, М. Л. Шупегин, А. П. Блиев, ФГОУ ВПО «Национальный исследовательский технологический университет «МИСиС»; А. В. Гриценко, Северо–Осетинский государственный университет.
Реферат

Исследована спектральная зависимость коэффициента поглощения в диапазоне длин волн от 190 нм до 1,9 мкм нелегированных кремний−углеродных пленок, синтезированных из кремний−органической жидкости полифенилметилсилоксана (ПФМС) методом высокачастотного осаждения из плазмы паров ПФМС. Показано, что коротковолновая область поглощения пленок не является монотонной: в ней присутствуют электронные переходы разного вида, включая, вероятно, межзонные.

Работа выполнена при финансовой поддержке Министерства образования и науки Российской Федерации (г.к. 16.552.11.7009). Исследования проводили на оборудовании центра коллективного пользования «Материаловедение и металлургия» НИТУ «МИСиС».

Ключевые слова Коэффициент поглощения, кремний−углеродные пленки, полифенилметилсилоксан.
Библиографический список

1. Малинкович, М. Д. Технология получения, структура и свойства металлсодержащих нанокомпозитов с кремний−углеродной матрицей / М. Д. Малинкович, Ю. Н. Пархоменко, Е. А. Скрылева, М. Л. Шупегин // Изв. вузов. Материалы электрон. техники. − 2005. − № 3. − С. 12—16.
2. Васильева, Н. Д. Кластерообразование в металлосодержащих алмазоподобных нанокомпозитах системы [Cx(SiO)y]H / Н. Д. Васильева, В. Н. Воронцов, А. И. Попов, М. Л. Шупегин // IV Междунар. конф. «Аморфные и нанокристаллические полупроводники». − Санкт−Петербург, 2004.
3. Белогорохов, А. И. Исследование молекулярной структуры матрицы алмазоподобных кремний−углеродных нанокомпозитов / А. И. Белогорохов, А. М. Додонов, М. Д. Малинкович, Ю. Н. Пархоменко, А. П. Смирнов, М. Л. Шупегин // Изв. вузов. Материалы электрон. техники. − 2007. − № 1. − С. 69—71.
4. Nespurek, S. From one−dimensional organosilicon structures to polymeric semiconductors: optical and electrical properties / S. Nespurek // J. Non−Crystal. Solids. − 2002. − V. 299—302. − P. 1033—1041.

Language of full-text русский
Полный текст статьи Получить
Назад