Наноматериалы и нанотехнология | |
Название | Исследование спектральной зависимости коэффициента поглощения нелегированных кремний–углеродных пленок |
Автор | М. Д. Малинкович, Ю. Н. Пархоменко, М. Л. Шупегин, А. П. Блиев, А. В. Гриценко |
Информация об авторе | М. Д. Малинкович, Ю. Н. Пархоменко, М. Л. Шупегин, А. П. Блиев, ФГОУ ВПО «Национальный исследовательский технологический университет «МИСиС»; А. В. Гриценко, Северо–Осетинский государственный университет. |
Реферат | Исследована спектральная зависимость коэффициента поглощения в диапазоне длин волн от 190 нм до 1,9 мкм нелегированных кремний−углеродных пленок, синтезированных из кремний−органической жидкости полифенилметилсилоксана (ПФМС) методом высокачастотного осаждения из плазмы паров ПФМС. Показано, что коротковолновая область поглощения пленок не является монотонной: в ней присутствуют электронные переходы разного вида, включая, вероятно, межзонные. Работа выполнена при финансовой поддержке Министерства образования и науки Российской Федерации (г.к. 16.552.11.7009). Исследования проводили на оборудовании центра коллективного пользования «Материаловедение и металлургия» НИТУ «МИСиС». |
Ключевые слова | Коэффициент поглощения, кремний−углеродные пленки, полифенилметилсилоксан. |
Библиографический список | 1. Малинкович, М. Д. Технология получения, структура и свойства металлсодержащих нанокомпозитов с кремний−углеродной матрицей / М. Д. Малинкович, Ю. Н. Пархоменко, Е. А. Скрылева, М. Л. Шупегин // Изв. вузов. Материалы электрон. техники. − 2005. − № 3. − С. 12—16. |
Language of full-text | русский |
Полный текст статьи | Получить |