Журналы →  Материалы электронной техники →  2011 →  №3 →  Назад

Физические свойства и методы исследований
Название Электронная эмиссия в процессе реактивного ионно–лучевого травления материалов электронной техники
Автор Г. Д. Кузнецов, А. С. Курочка, А. А. Сергиенко, С. П. Курочка
Информация об авторе Г. Д. Кузнецов, ФГОУ ВПО «Национальный исследовательский технологический университет «МИСиС»; А. С. Курочка, ОАО «ФЗМТ»; А. А. Сергиенко; С. П. Курочка, ФГОУ ВПО «Национальный исследовательский технологический университет «МИСиС».
Реферат

Представлены результаты исследований тока вторичных электронов при реактивном ионно-лучевом травлении различных материалов. Приведены теоретические и экспериментальные значения тока вторичных электронов в зависимости от состава плазмообразующей среды, атомного номера мишени, энергии ионов и плотности потока ионов. Предложена модель вторичной электронной эмиссии, учитывающая особенности выхода электронов в случае применения реактивных газов.

Ключевые слова Ионно-электронная эмиссия, реактивное ионно-лучевое травление, ток вторичных электронов, контроль процесса травления.
Библиографический список

1. Сергиенко, А. А. Использование ионно-электронной эмиссии для контроля процесса ионно-лучевого травления слоистых гетерокомпозиций / А. А. Сергиенко, С. Б. Симакин, Г. Д. Кузнецов, Б. А. Билалов, Р. Ш. Тешев // Материалы IV российско-японского семинара «Перспективные технологии и оборудование для материаловедения, микро- и наноэлектроники». - М.: МГИУ, 2006. - С. 285—290.
2. Курочка, А. С. Электронная эмиссия в процессе реактивного ионно-лучевого травления материалов / А. С. Курочка, А. А. Сергиенко, Г. Д. Кузнецов, С. Б. Симакин // Тр. VII Междунар. российско-казахстано-японской научной конф. «Перспективные технологии, оборудование и аналитические системы для материаловедения и наноматериалов» - М. : МГИУ, 2009. - С. 610—611.
3. Кислов, Н. М. К модели вторичных электронов из металлов и полупроводников при ионной обработке поверхности / Н. М. Кислов, Г. Д. Кузнецов, А. А. Сергиенко, С. Б. Симакин // Изв. вузов. Материалы электрон. техники. - 2004. - № 4. - С. 63—67.
4. Курочка, А. С. Ионно-электронная эмиссия в процессе ионно-лучевого травления поверхности материалов / А. С. Курочка, А. А. Сергиенко, Н. А. Харламов, Г. Д. Кузнецов // Тез. докл. IV Междунар. конф. «Кристаллофизика XXI века» - М. : ИК РАН, 2010. - Т. I. - С. 334—335.
5. Справочник химика. / Под ред. Б. П. Никольского - М. : Химия, 1979. - Т. 1. - 642 с.
6. Ивановский, Г. Ф. Ионно-плазменная обработка / Г. Ф. Ивановский, В. И. Петров - М. : Радио и связь, 1986. - 232 с.
7. Крапухин, В. В. Технология материалов электронной техники. Теория процессов полупроводниковой технологии / В. В. Крапухин, И. А. Соколов, Г. Д. Кузнецов - М. : МИСиС, 1995. - 494 с.
8. Распыление твердых тел ионной бомбардировкой - М.: Мир, 1986. - 488 с.
9. Берлин, Е. В. Вакуумная технология и оборудование для нанесения и травления тонких пленок / Е. В. Берлин, С. А. Двинин, Л. А. Сейдман - М.: Техносфера, 2007. - 176 с.

Language of full-text русский
Полный текст статьи Получить
Назад