Физические свойства и методы исследований | |
Название | Электронная эмиссия в процессе реактивного ионно–лучевого травления материалов электронной техники |
Автор | Г. Д. Кузнецов, А. С. Курочка, А. А. Сергиенко, С. П. Курочка |
Информация об авторе | Г. Д. Кузнецов, ФГОУ ВПО «Национальный исследовательский технологический университет «МИСиС»; А. С. Курочка, ОАО «ФЗМТ»; А. А. Сергиенко; С. П. Курочка, ФГОУ ВПО «Национальный исследовательский технологический университет «МИСиС». |
Реферат | Представлены результаты исследований тока вторичных электронов при реактивном ионно-лучевом травлении различных материалов. Приведены теоретические и экспериментальные значения тока вторичных электронов в зависимости от состава плазмообразующей среды, атомного номера мишени, энергии ионов и плотности потока ионов. Предложена модель вторичной электронной эмиссии, учитывающая особенности выхода электронов в случае применения реактивных газов. |
Ключевые слова | Ионно-электронная эмиссия, реактивное ионно-лучевое травление, ток вторичных электронов, контроль процесса травления. |
Библиографический список | 1. Сергиенко, А. А. Использование ионно-электронной эмиссии для контроля процесса ионно-лучевого травления слоистых гетерокомпозиций / А. А. Сергиенко, С. Б. Симакин, Г. Д. Кузнецов, Б. А. Билалов, Р. Ш. Тешев // Материалы IV российско-японского семинара «Перспективные технологии и оборудование для материаловедения, микро- и наноэлектроники». - М.: МГИУ, 2006. - С. 285—290. |
Language of full-text | русский |
Полный текст статьи | Получить |