Results on secondary electron current during reactive ion beam etching of various materials have been presented. Theoretical and experimental values of secondary electron current as a function of plasma−forming medium composition, target atomic number, ion energy and ion flux have been provided. A secondary electron emission model has been suggested that takes into account the peculiarities of electron emission in cases when reactive gases are used.
1. Sergienko, A. A. Ispol'zovanie ionno-elektronnoy emissii dlya kontrolya protsessa ionno-luchevogo travleniya sloistykh geterokompozitsiy / A. A. Sergienko, S. B. Simakin, G. D. Kuznetsov, B. A. Bilalov, R. Sh. Teshev // Materialy IV rossiysko-yaponskogo seminara «Perspektivnye tekhnologii i oborudovanie dlya materialovedeniya, mikro- i nanoelektroniki». - M.: MGIU, 2006. - S. 285—290.
2. Kurochka, A. S. Elektronnaya emissiya v protsesse reaktivnogo ionno-luchevogo travleniya materialov / A. S. Kurochka, A. A. Sergienko, G. D. Kuznetsov, S. B. Simakin // Tr. VII Mezhdunar. rossiysko-kazakhstano-yaponskoy nauchnoy konf. «Perspektivnye tekhnologii, oborudovanie i analiticheskie sistemy dlya materialovedeniya i nanomaterialov» - M. : MGIU, 2009. - S. 610—611.
3. Kislov, N. M. K modeli vtorichnykh elektronov iz metallov i poluprovodnikov pri ionnoy obrabotke poverkhnosti / N. M. Kislov, G. D. Kuznetsov, A. A. Sergienko, S. B. Simakin // Izv. vuzov. Materialy elektron. tekhniki. - 2004. - № 4. - S. 63—67.
4. Kurochka, A. S. Ionno-elektronnaya emissiya v protsesse ionno-luchevogo travleniya poverkhnosti materialov / A. S. Kurochka, A. A. Sergienko, N. A. Kharlamov, G. D. Kuznetsov // Tez. dokl. IV Mezhdunar. konf. «Kristallofizika XXI veka» - M. : IK RAN, 2010. - T. I. - S. 334—335.
5. Spravochnik khimika. / Pod red. B. P. Nikol'skogo - M. : Khimiya, 1979. - T. 1. - 642 s.
6. Ivanovskiy, G. F. Ionno-plazmennaya obrabotka / G. F. Ivanovskiy, V. I. Petrov - M. : Radio i svyaz', 1986. - 232 s.
7. Krapukhin, V. V. Tekhnologiya materialov elektronnoy tekhniki. Teoriya protsessov poluprovodnikovoy tekhnologii / V. V. Krapukhin, I. A. Sokolov, G. D. Kuznetsov - M. : MISiS, 1995. - 494 s.
8. Raspylenie tverdykh tel ionnoy bombardirovkoy - M.: Mir, 1986. - 488 s.
9. Berlin, E. V. Vakuumnaya tekhnologiya i oborudovanie dlya naneseniya i travleniya tonkikh plenok / E. V. Berlin, S. A. Dvinin, L. A. Seydman - M.: Tekhnosfera, 2007. - 176 s.