Journals →
Цветные металлы →
2006 →
#1 →
Back
Back
| КОМПОЗИЦИОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ И МНОГОФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ ПОКРЫТИЯ | |
| ArticleName | Математическая модель процесса получения покрытий при химическом осаждении из газовой фазы в условиях термоциклирования подложки (Часть 2) |
| ArticleAuthor | Прокопук В. И., Ермилов А. Г. |
| Abstract | Обработкой экспериментальных данных по скорости термического разложения карбонилов молибдена и никеля и скорости образования покрытий из них на порошкообразных материалах вычислены константы экспоненциальных уравнений описывающих кинетику сорбции паров карбонилов на подложке и реагирования карбонилов с образованием металлического покрытия на подложке и высокодисперсного порошка в газовом объёме. С помощью системы дифференциальных уравнений рассчитаны условия формирования покрытий на порошкообразных материалах для различных температурных режимов в реакторе осаждения и концентраций реагентов в газовой фазе. Проиллюстрированы эффективность термоциклирования подложки от температуры близкой к температуре испарения карбонила до температуры его термического распада, связанная с разделением процессов сорбции и реагирования металлонесущего компонента на подложке. |
| Language of full-text | russian |
| Full content | Buy |
