МОДЕЛИРОВАНИЕ ПРОЦЕССОВ И МАТЕРИАЛОВ | |
Название | Особенности теплопереноса и легирования при выращивании монокристаллов кремния методом Чохральского из двойного тигля |
Автор | Н. А. Верезуб, А. И. Простомолотов |
Информация об авторе | Институт проблем механики им. А. Ю. Ишлинского РАН Н. А. Верезуб, А. И. Простомолотов |
Реферат | Проведено численное моделирование течения расплава, переноса тепла и легирующей примеси (фосфор) при выращивании монокристаллов кремния диаметром 200 мм из двойного тигля установки «Редмет−90М». Двойной тигель состоит из коаксиально расположенных тиглей разных размеров — внешнего и внутреннего, в дне внутреннего тигля имеется отверстие диаметром Do = 6 и 12 мм для втекания расплава из внешнего тигля. В процессе выращивания кристалла сделана досыпка в расплав гранулированного кремния и легирующей примеси вне и внутри внутреннего тигля соответственно. Проанализированы трехмерные особенности вращающегося течения расплава во внутреннем тигле, влияющие на перенос тепла и примеси. Показано, что проблема значительного уменьшения концентрации фосфора в одинарном тигле, вызванная его испарением с открытой поверхности расплава, может быть решена с помощью дополнительного легирования расплава во внутреннем тигле. Работа выполнена при финансовой поддержке РФФИ (гранты № 10−02−90004 и 11−08−00966). |
Ключевые слова | Метод Чохральского, монокристалл кремния, установка «Редмет−90М», двойной тигель, моделирование, теплоперенос, диффузия примеси |
Библиографический список | 1. Mateika, D. Czochralski growth the double container technique / D. Mateika, R. Lanrien, M. J. Liehr // J. Cryst. Growth. − 1983. − V. 65. − P. 237—242. 2. Lin, M. N. Further report on dopant segregation control in crystal growth with a wetted float / M. N. Lin, S. Kou // Ibid. − 1994. − V. 135. − P. 643—645. |
Language of full-text | русский |
Полный текст статьи | Получить |