Журналы →  Материалы электронной техники →  2011 →  №4 →  Назад

ЭПИТАКСИАЛЬНЫЕ СЛОИ И МНОГОСЛОЙНЫЕ КОМПОЗИЦИИ
Название Способ определения состоянияповерхности раздела кремний—сапфир в тонких слоях кремний–на–сапфире
Автор C. В. Тихов, Д. А. Павлов, Н. О. Кривулин
Информация об авторе

Нижегородский государственный университет им. Н. И. Лобачевского

C. В. Тихов, Д. А. Павлов, Н. О. Кривулин

Реферат

Предложен простой способ определения состояния поверхности раздела кремний—сапфир в тонких слоях кремний−на−сапфире, основанный на измерениях фотоЭДС насыщения и вольт−амперных характеристик в диодных структурах Au/Si. Показано, что в слоях кремний−на−сапфире, полученных методом низкотемпературной молекулярно−лучевой эпитаксии, на границе кремний—сапфир образуется слой р−типа проводимости.

Работа выполнена при финансовой поддержке Рособразования (грант РНП 2.1.1.36/26).

Ключевые слова Кремний−на−сапфире, диодная структура, эффект поля, фотоЭДС
Библиографический список

1. Папков, В. С. Эпитаксиальные кремниевые слои на диэлектрических подложках и приборы на их основе / В. С. Папков, М. В. Цыбульников. − М. : Энергия, 1979. − 88 с.
2. Пека, Г. П. Физика поверхности полупроводников / Г. П. Пека. − Киев : Наукова думка, 1967.
3. Abrahams, M. S. / M. S. Abrahams, C. J. Buiocchi // Appl. Lett. − 1975. − V. 27, N 6. − P. 325.
4. Тихов, С. В. / С. В. Тихов, В. Г. Шенгуров, Д. А. Павлов // Вестн. Нижегородского ун−та. − 2010. − № 2. − С. 60—65.
5. Тихов, С. В. / С. В. Тихов // ФТП. − 1995. − Т. 29. − С. 742.
6. Зи, С. Физика полупроводниковых приборов / С. Зи. − М. : Мир, 1984. − 525 с.
7. Карпович, И. А. / И. А. Карпович, С. В. Тихов, Л. А. Истомин // Вестн. Нижегородского ун−та. − 2008. − № 1. − С. 25—29.
8. Родерик, Э. К. Контакты металл−полупроводник / Э. К. Родерик. − М. : Радио и связь, 1982. − 208 с.
9. Зуев, В. А. Неравновесные приповерхностные процессы в полупроводниках и полупроводниковых приборах / В. А. Зуев, А. В. Саченко, Н. Б. Толпыго. − М., 1977.

Language of full-text русский
Полный текст статьи Получить
Назад