Журналы →  Materialy Elektronnoi Tekhniki →  2011 →  №4 →  Назад

EPITAXIAL LAYERS AND MULTILAYERED COMPOSITIONS
Название Detection method of silicon–sapphare interface state in silicon on sapphire thin layers
Автор S. V. Tikhov, D. A. Pavlov, N. O. Krivulin
Информация об авторе

University of Nizhniy Novgorod

S. V. Tikhov, D. A. Pavlov, N. O. Krivulin

Реферат

We suggested the easy detection method of of silicon−sapphire interface state in silicon on sapphire thin layers. This method base on photo−e.m.f. satiation measurements and volt−current characteristic in Au/Si diode structure. It is shown that in silicon on sapphire layers that have been obtained by low temperature molecular beam epitaxy in the silicon−sapphire interface layer of p−type conductivity forms.

Ключевые слова Silicon on sapphire, diode structure, field effect, photo−e.m.f.
Библиографический список

1. Papkov, V. S. Epitaksial'nye kremnievye sloi na dielektricheskikh podlozhkakh i pribory na ikh osnove / V. S. Papkov, M. V. Tsybul'nikov. − M. : Energiya, 1979. − 88 s.
2. Peka, G. P. Fizika poverkhnosti poluprovodnikov / G. P. Peka. − Kiev : Naukova dumka, 1967.
3. Abrahams, M. S. / M. S. Abrahams, C. J. Buiocchi // Appl. Lett. − 1975. − V. 27, N 6. − P. 325.
4. Tikhov, S. V. / S. V. Tikhov, V. G. Shengurov, D. A. Pavlov // Vestn. Nizhegorodskogo un−ta. − 2010. − № 2. − S. 60—65.
5. Tikhov, S. V. / S. V. Tikhov // FTP. − 1995. − T. 29. − S. 742.
6. Zi, S. Fizika poluprovodnikovykh priborov / S. Zi. − M. : Mir, 1984. − 525 s.
7. Karpovich, I. A. / I. A. Karpovich, S. V. Tikhov, L. A. Istomin // Vestn. Nizhegorodskogo un−ta. − 2008. − № 1. − S. 25—29.
8. Roderik, E. K. Kontakty metall−poluprovodnik / E. K. Roderik. − M. : Radio i svyaz', 1982. − 208 s.
9. Zuev, V. A. Neravnovesnye pripoverkhnostnye protsessy v poluprovodnikakh i poluprovodnikovykh priborakh / V. A. Zuev, A. V. Sachenko, N. B. Tolpygo. − M., 1977.

Language of full-text русский
Полный текст статьи Получить
Назад